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一、超純水概況
超純水(Ultrapure water)又稱UP水，是指電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)的水。超純水是一種經(jīng)過特殊工藝處理的水,幾乎不含任何雜質,具有很高的純度。超純水可以用于超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當?shù)某R界精細技術的制備過程。下面介紹超純水處理系統(tǒng)工藝與流程。
二、超純水處理系統(tǒng)工藝介紹
1: 預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點
2: 預處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
3: 預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
